Aplicación de componentes de cuarzo de precisión en semiconductores

En la industria de los semiconductores, El cuarzo es ampliamente utilizado. Y los productos de cuarzo de alta pureza son consumibles importantes en la producción de obleas. La principal aplicación de los componentes de cuarzo en el campo de los semiconductores es el proceso de difusión y grabado en la fundición de obleas, que se puede dividir en dispositivos de zona de alta temperatura y dispositivos de zona de baja temperatura. Los principales dispositivos que se utilizarán son los siguientes:

① Los dispositivos en la zona de alta temperatura son principalmente tubos de horno, botes de vidrio, etc. que se utilizan en la oxidación por difusión y otros procesos. Deben estar en contacto directo o indirecto con obleas de silicio en un entorno de alta temperatura. Después de comprar materiales de vidrio de sílice fundida, estos dispositivos se producirán mediante procesamiento térmico.

Al controlar la tensión residual interna del tubo de sílice fundida en la figura a continuación, se recomienda utilizar un manual cuantitativoPolariscopio de vidrio(Modelo sin PSV-413). Puede ver intuitiva y claramente dónde se concentra el estrés y medir el valor de retraso óptico causado por la existencia de estrés. En La Figura 1, la tensión se concentra en la posición azul. Cuando cambiamos al método de medición cuantitativa (método senarmont), el área azul en la Figura 1 gira el área blanca en la Figura 2. Cuando giramos lentamente la escala en el analizador superior, el color del área blanca en la Figura 2 se oscurecerá gradualmente hasta que se convierta en el área marrón oscuro en la Figura 3.

Figura 1

Figura 2

Figura 3

② Los dispositivos en la zona de baja temperatura son principalmente anillos de cuarzo en el proceso de grabado, y cestas de flores y tanques de limpieza durante el proceso de limpieza. Después de comprar vidrio de cuarzo refinado a gas, estos dispositivos se producen a través del procesamiento en frío. El tanque de limpieza de cuarzo en la imagen de abajo se hace disparando a mano. Al controlar su tensión residual interna, se recomienda utilizar un Polariscope de mano agrandado (modelo NO PSV-202-DL).